振動対策事例:プラント/工場
精密装置
998
高速ステージに対応
進化したアクティブ除振装置の制振対策装置のスループットの向上は、工場の生産性に直結する。その為、除振装置には整定時間の短縮が求められ...
精密装置
0211
ステージ駆動精密機器のアクティブ除振対策
半導体製造などに代表される微細加工(及び検査、分析)装置は微振動環境を必要としている。しかし、そ...
精密装置
0130
半導体製造装置の交流磁場障害対策
半導体製造ラインで使用されるSEM応用装置の観察画像にノイズが混入し、計測精度に問題を生じていた...
産業機械
0151
リサイクル工場振動フィーダー稼働時の障害対策
廃棄物の仕分けをする振動フィーダー(※)稼動時に、建物全体が水平方向に大きく振動し、問題となって...
精密装置
0206
高剛性架台による精密装置の設置環境対策
半導体工場などクリーンルーム二重床構造において、グレーチング上の振動は非常に大きく、精密装置設置...
精密装置
J7
液晶基板検査装置のアクティブ除振対策
大型液晶基板検査装置(測長機)の設置に際し、設置床の振動環境を事前調査したところ許容値を超えてい...
精密装置
0165
精密装置に対するパッシブ・アクティブ除振対策例
半導体製造などに代表される微細加工(及び検査、分析)プロセスでは静寂な振動環境が必要とされる。こ...
建物/構造物
077
振動ふるい機設置床に対するTMD制振対策事例
工場から200m離れた民家において振動ふるい機が原因と推測される環境障害が発生していた。これより...
空調/衛生設備
057
大口径竪(たて)配管の振動絶縁による騒音対策事例
750Aの冷却水用竪配管シャフト近傍で固体音が発生していたが、既存の振れ止めを振動絶縁効果の高い...
試験設備
044
2000kN万能試験機の防振対策事例
某試験室に設置されていた2000kN万能試験機の稼働に伴い、近隣民家等に最大振動レベル79dBに...
産業機械
041
清掃工場破砕機の空気ばねによる防振対策事例
清掃工場の破砕機、油圧ユニット及び油圧配管の振動が原因で直下の灰溶融制御室及び見学者廊下で固体音...
電気設備
039
発電機接合部のクラック原因調査と対策実施例
非常用発電装置において、エンジンと発電機の接合部に亀裂が生じる不具合が発生。防振支持方法に問題が...
空調/衛生設備
038
設備改修工事における防振検討事例
熱供給プラントの設備機器改修工事に伴う振動・騒音対策として、事前(現状)の環境測定、構造特性の把...
精密装置
029
走査型電子顕微鏡(SEM)の直流磁場障害対策
オフィスビル内のデモルームに設置されたSEMについて、周辺鉄道路線に起因する磁場影響をアクティブ...