αシリーズは除振性能、制振性能に加え姿勢維持にも優れた効果を発揮します。また6点や8点支持により大荷重にも対応できます。​

電子顕微鏡に最適な低床タイプの除振台です。

エアーを必要としない小型アクティブ除振装置。低域周波数から高域周波数まで優れた除振性能を有しています。

半導体、液晶基板の大口径化、大基盤化に伴う検査装置の大型化、重量化に対応した豊富なラインナップを用意。

可能な限りの薄型設定により、オペレーターにワークレベルの変化を感じさせません。スマートかつシンプルな構造を実現し、ご希望のサイズ、搭載容量に合わせた設計変更を容易に行うことができます。

電子顕微鏡や各種露光装置などの搭載機器と、設置される環境に適した設計を致します。

当社のアクティブユニットとサイズが同じであり、アクティブユニットへ交換することも可能です。​

精密機器設置エリアと周辺を縁切りする高剛性な架台です。設置場所、搭載装置に合わせ都度設計から施工、検証測定まで行います。​

磁場変動が発生すると、電子顕微鏡などの​電子ビーム応用装置に悪影響を及ぼします。AMC-331は磁場変動を高感度磁場センサで検出し、ヘルムホルツコイルを用いて逆位相の磁場を発生させることで磁場変動を抑制するシステムです。​