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除振装置デスク型除振台 EHS/DHS/DAS/SRD/SVD

半導体産業をはじめとする超精密加工分野における製造・検査・計測は、ナノメートル、オングストロームへと精密さの度合いを深めています。こうした時代のニーズを的確に捉え、超微振動のアイソレーション空間を提供するOSフロートデスクのシリーズです。
半導体、液晶基板の大口径化、大基盤化に伴う検査装置の大型化、重量化に対応した豊富なラインナップを用意。
製造検査ラインにマッチするシンプルなデザイン、数々のオプションでシステムを美しく構成することができます。

EHS/DHS仕様

デスク型除振台EHS

超精密検査/測定装置をターゲットにした高性能除振デスク

EHS-68(下部棚付き)

型式 EHS-68 EHS-78 EHS-87 EHS-107
除振台外形寸法
(W×D×Hmm)
600×800
×750
700×800
×750
800×700
×750
1,000×700
×750
製品重量 (kg) 170 190 190 220
搭載許容重量 (kg) 120
除振方式 空気ばね及び、スイングボール支持方式 ( PAT .P/USP )
固有振動数 (Hz) 鉛直方向 1.6 ~ 2.2  水平方向 1.2 ~ 1.8
レベリング メカニカルバブルによる自動レベリング方式:供給圧0.4Mpa
フロート部 SUS304 研磨仕上げ
オプション ワークカバー,耐震固定金具,下部棚
その他 クリーンルーム内使用可能(集中排気機構、静電気防止アース機能付き)
RoHS指令対応

デスク型除振台DHS

DHSシリーズはEHSシリーズにワークカバーをセットしたモデルです。フロート部に触れることを気にせず作業ができます。

DHS-68(下部棚付き)

型式 DHS-68 DHS-78 DHS-87 DHS-107
除振台外形寸法
(W×D×Hmm)
650×850
×750
750×850
×750
850×750
×750
1,050×750
×750
製品重量 (kg) 175 195 195 225
搭載許容重量 (kg) 120
除振方式 空気ばね及び、スイングボール支持方式 ( PAT .P/USP )
固有振動数 (Hz) 鉛直方向 1.6 ~ 2.2  水平方向 1.2 ~ 1.8
レベリング メカニカルバブルによる自動レベリング方式:供給圧0.4Mpa
フロート部 SUS304 研磨仕上げ
オプション 耐震固定金具,下部棚
その他 クリーンルーム内使用可能(集中排気機構、静電気防止アース機能付き)
RoHS指令対応

EHS/DHS特長

  • 振動伝達特性 低固有値でありながら、100Hzまでモードの発生を抑え安定した振動伝達特性。
  • 水平方向指示機構に「SBM機構」(PAT.P/USP)を採用。水平方向の低固有値化を実現。搭載機器の重量に関係なく水平方向固有振動数をほぼ一定にすることが可能になりました。
  • 当社のアクティブ除振で培われた独自の除振技術、スイングボール(SBM)機構を小型に新型空気ばねとして製品化いたしました。このSBM機構を採用することにより従来の空気ばねでは困難だったローリングモードを抑制することを実現しました。さらに最適設計された架台部と相まって、広域周波数まで確実に除振し搭載機器への性能を最大限に引き出すことができます。

新型空気ばね

DAS/SRD/SVD仕様

デスク型除振台DAS

光学顕微鏡/粗さ計等 大荷重搭載にも対応

DAS-68(下部棚付き)

型式 DAS-68 DAS-78 DAS-87 DAS-107
除振台外形寸法
(W×D×Hmm)
650×850
×750
750×850
×750
850×750
×750
1,050×750
×750
製品重量 (kg) 180 200 200 230
搭載許容重量 (kg) 200
除振方式 空気ばね
固有振動数 (Hz) 鉛直方向および水平方向 2.0 ~ 3.0
レベリング メカニカルバブルによる自動レベリング方式:供給圧0.4Mpa
フロート部 SUS304 研磨仕上げ
オプション 耐震固定金具,下部棚
その他 クリーンルーム内使用可能(集中排気機構、静電気防止アース機能付き)
RoHS指令対応

デスク型除振台SRD/SVD

測定顕微鏡/粗さ計等 すっきり搭載

SVDA(ウイング、サイドデス
ク(ED)、モニター台、マウ
ス/キーボード台付き)

型式 SRDA SVDA SRDC SVDC SRDR
除振台外形寸法
(W×D×Hmm)
590×720
×715
770×720
×715
590×720
×715
770×720
×715
590×720
×715
製品重量 (kg) 70 105 70 105 70
搭載許容重量 (kg) 120 200 120 200 45
除振方式 空気ばね 特殊ラバースプリングパット
固有振動数 (Hz) 鉛直方向および水平方向 2.0 ~ 3.0 鉛直方向および水平方向 8.0 ~ 12.0
レベリング メカニカルバブルによる自動レベリング方式:供給圧0.4Mpa 手押しポンプ補給マニュアル調整 特殊ラバースプリングパット
フロート部 SPCC(メラミン樹脂塗装)
オプション サイドウイング、サイドデスク(ED)ED、モニター台、マウス/キーボード台

デスク型除振台のご利用について:搭載装置の重心位置が、短面指示寸法の1/2の高さを超える場合は当社までご相談ください。

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