超精密機器対策

描画装置・露光装置・各検査装置

• アクティブユニット
• 大型パッシブ

フロア対策

• 高剛性架台
• 鉛直制振装置
• 免震装置

設備機械室対策

• 設備防振装置

精密機器対策

• 卓上アクティブ
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電子顕微鏡対策

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• アクティブ除振台αL