超精密機器対策

描画装置・露光装置・各検査装置

• アクティブユニット
• 大型パッシブ

フロア対策

• 高剛性架台
• 鉛直制振装置
• 免震装置

設備機械室対策

• 設備防振装置

精密機器対策

• 卓上パッシブ
• デスク型パッシブ
• パッシブユニット
• 免震装置

電子顕微鏡対策

• 磁場キャンセラー
• アクティブ除振台αL