卓上型アクティブ除振台δTA
エアーを必要としない小型アクティブ除振装置。低域周波数から高域周波数まで優れた除振性能を有しています。
特長
- 鉛直方向(Z)、水平２方向(X, Y) 及び、それぞれの回転方向に対し ６自由度アクティブで制御。
- 搭載装置の重量 (平均荷重 0 ～ 100kg)、重心位置にかかわらず安定した除振効果を発揮。
- 起動時に搭載機器の重心位置を感知し、最適な制御バランスを自動調整するオートレベリング機構付。
- 発塵のおそれのある部材を排除し、クリーンルームの使用に対応。
- パネルには視野角が広く見やすい VFD (蛍光表示管) を採用。また、暗室での使用を考慮し光源の ON/OFF 機能付。
用途
- AFM (原子間力顕微鏡)、SPM (走査型プローブ顕微鏡)。
- レーザー顕微鏡、レーザー干渉計。
- 微小硬度計。
- その他 各種精密精密計測機器。
振動伝達特性
無負荷状態、高重心状態でも優れた除振効果を発揮します。
仕様
| 型式 | δTA-56 |
|---|---|
| 制御方式 | 6自由度フィードバック制御 |
| 除振台外形寸法 ( W × D × Hmm ) | 500 × 600 × 92 |
| 定盤寸法 ( W × Dmm ) | 500 × 600 |
| 製品質量 ( kg ) | 31 |
| 搭載容量値 ( kg ) | 100 |
| 供給電源 | 単相 AC100 - 200V ( 50/60Hz ) |
