事例検索結果 タグ:半導体が含まれる事例 4-5 / 5件 精密装置0206高剛性架台による精密装置の設置環境対策半導体工場などクリーンルーム二重床構造において、グレーチング上の振動は非常に大きく、精密装置設置...精密装置0165精密装置に対するパッシブ・アクティブ除振対策例半導体製造などに代表される微細加工(及び検査、分析)プロセスでは静寂な振動環境が必要とされる。こ... 前へ12