振動対策事例:研究施設
精密装置998
高速ステージに対応
進化したアクティブ除振装置の制振対策装置のスループットの向上は、工場の生産性に直結する。その為、除振装置には整定時間の短縮が求められ...
精密装置0211
ステージ駆動精密機器のアクティブ除振対策
半導体製造などに代表される微細加工（及び検査、分析）装置は微振動環境を必要としている。しかし、そ...
精密装置0130
半導体製造装置の交流磁場障害対策
半導体製造ラインで使用されるSEM応用装置の観察画像にノイズが混入し、計測精度に問題を生じていた...
精密装置0206
高剛性架台による精密装置の設置環境対策
半導体工場などクリーンルーム二重床構造において、グレーチング上の振動は非常に大きく、精密装置設置...
精密装置0165
精密装置に対するパッシブ・アクティブ除振対策例
半導体製造などに代表される微細加工（及び検査、分析）プロセスでは静寂な振動環境が必要とされる。こ...
建物/構造物095
超低振動地盤の測定
空調/衛生設備057
大口径竪（たて）配管の振動絶縁による騒音対策事例
750Aの冷却水用竪配管シャフト近傍で固体音が発生していたが、既存の振れ止めを振動絶縁効果の高い...
精密装置029
走査型電子顕微鏡（SEM）の直流磁場障害対策
オフィスビル内のデモルームに設置されたSEMについて、周辺鉄道路線に起因する磁場影響をアクティブ...
