高速ステージに対応
進化したアクティブ除振装置の制振対策
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- ステージ駆動精密機器のアクティブ除振対策
- 装置のスループットの向上は、工場の生産性に直結する。その為、除振装置には整定時間の短縮が求められる。
既存の除振装置でもステージ駆動に対応する制御力を備えていたものの、近年のステージ高速化に伴い要求仕様も厳しくなってきている。
今回は、高速ステージ（加速度2Gクラス）に対して、セトリングタイムを短縮する対策を行った。
アクティブ除振装置の制振性向上
高速ステージに対して除振性能を保ったまま、制振性を効かせることに成功した。
通常のアクティブ制御(SFF)に対し、アクチュエータの強化をすることで最大変位で鉛直1/5、水平3/4に低減が確認された。
また、ステージ停止後130msec後の各制御状態の評価を行った結果でも、鉛直、水平それぞれ1/4ほどの低減が確認された。
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Fig1.ステージ駆動時の最大変位量
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Fig2.評価時間における変位量
整定時間の短縮
今回の実験では、アクティブ制御による整定時間の短縮も確認した。
通常のアクティブ制御に対し約 1/80に短縮した。
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Fig3.ステージ停止後の整定時間
