事例検索結果 タグ：嫌振装置が含まれる事例 1-2 / 2件 精密装置0206高剛性架台による精密装置の設置環境対策半導体工場などクリーンルーム二重床構造において、グレーチング上の振動は非常に大きく、精密装置設置...精密装置J7液晶基板検査装置のアクティブ除振対策大型液晶基板検査装置（測長機）の設置に際し、設置床の振動環境を事前調査したところ許容値を超えてい...
