事例検索結果 タグ:伝達特性が含まれる事例 1-3 / 4件 精密装置0211ステージ駆動精密機器のアクティブ除振対策半導体製造などに代表される微細加工(及び検査、分析)装置は微振動環境を必要としている。しかし、そ...精密装置0206高剛性架台による精密装置の設置環境対策半導体工場などクリーンルーム二重床構造において、グレーチング上の振動は非常に大きく、精密装置設置...精密装置J7液晶基板検査装置のアクティブ除振対策大型液晶基板検査装置(測長機)の設置に際し、設置床の振動環境を事前調査したところ許容値を超えてい... 12次へ