事例検索結果 タグ:クリーンルームが含まれる事例 1-2 / 2件 精密装置0130半導体製造装置の交流磁場障害対策半導体製造ラインで使用されるSEM応用装置の観察画像にノイズが混入し、計測精度に問題を生じていた...精密装置0206高剛性架台による精密装置の設置環境対策半導体工場などクリーンルーム二重床構造において、グレーチング上の振動は非常に大きく、精密装置設置...