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除振装置卓上型アクティブ除振台δTA

エアーを必要としない小型アクティブ除振装置。低域周波数から高域周波数まで優れた除振性能を有しています。

特長

  • 鉛直方向(Z)、水平2方向(X, Y) 及び、それぞれの回転方向に対し 6自由度アクティブで制御。
  • 搭載装置の重量 (平均荷重 0 ~ 100kg)、重心位置にかかわらず安定した除振効果を発揮。
  • 起動時に搭載機器の重心位置を感知し、最適な制御バランスを自動調整するオートレベリング機構付。
  • 発塵のおそれのある部材を排除し、クリーンルームの使用に対応。
  • パネルには視野角が広く見やすい VFD (蛍光表示管) を採用。また、暗室での使用を考慮し光源の ON/OFF 機能付。

用途

  • AFM (原子間力顕微鏡)、SPM (走査型プローブ顕微鏡)。
  • レーザー顕微鏡、レーザー干渉計。
  • 微小硬度計。
  • その他 各種精密精密計測機器。

振動伝達特性

無負荷状態、高重心状態でも優れた除振効果を発揮します。

仕様

型式 δTA-0506
制御方式 6自由度フィードバック制御
除振台外形寸法 ( W × D × Hmm ) 500 × 600 × 92
定盤寸法 ( W × Dmm ) 500 × 600
製品質量 ( kg ) 31
搭載容量値 ( kg ) 100
供給電源 単相 AC100 - 200V ( 50/60Hz )
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