走査型電子顕微鏡（SEM/FIB）用低床アクティブ除振台
αL4X-911R2
0.5Hzの低周波領域からの優れた除振性能を発揮
特長
セルフチェック機能を搭載、自動調整が可能
仕様
| 外形寸法 ( W × D × Hmm ) | 902 × 1102 × 152 ( 着座時 ) |
|---|---|
| 製品質量 ( kg ) | 320 |
| 除振機構 | ダイヤフラム式空気ばね |
| 最大搭載質量 ( kg ) | 1000 ( 均等荷重 ) |
| 制御方式 | 6自由度フィードバック + 地動フィードフォワード制御 |
