電子顕微鏡用アクティブ除振台 αL4X-911R1
電子顕微鏡に最適な低床タイプの除振台です。
特長
極限まで低床化
XYZ方向及び各回転軸の制御
仕様
| 外形寸法 ( W × D × Hmm ) | 900 × 1100 × 152 ( 浮上時 155 ) |
|---|---|
| 製品質量 ( kg ) | 320 |
| 搭載許容値 ( kg ) | 1000 |
| 用力 | クリーンドライエア ( 0.6 MPa以上 ) 電源 1口 ( 単相 100 - 240V 50/60Hz ) |
| 設置面 ( mm ) | 2 mm以下 |
