振動対策事例:磁場 精密装置0130半導体製造装置の交流磁場障害対策半導体製造ラインで使用されるSEM応用装置の観察画像にノイズが混入し、計測精度に問題を生じていた...精密装置029走査型電子顕微鏡（SEM）の直流磁場障害対策オフィスビル内のデモルームに設置されたSEMについて、周辺鉄道路線に起因する磁場影響をアクティブ...
