通常的隔振措施是使用弹性体支撑设备，减少从安装场地传递到设备的振动（如图1所示）。 弹性材料的类型和特性决定了基本的隔振性能，材料越软，隔振性能越高。
当隔振对象是精密设备时，常使用空气弹簧作为弹性元件，主要理由如下
・ 可通过增加附加气室将设计低固有频率以达到高隔振效果
・ 能对应非均布载荷。可调整每个支撑点的悬浮水平达到水平面调平
・ 可通过调节气路中的节流口来调整阻尼
这种利用弹性体的弹簧特性进行振动隔振的方式被称为「被动振动隔离」。在此基础上，附加有主动控制系统（用于反馈控制和前馈控制的加速度传感器，用于位置控制的位移传感器，执行器和控制器）的隔振方式被称为「主动隔振」。

采用被动隔振的场合有下述缺陷
・不可避免地存在着伴随弹簧特性（固有频率）的振动增幅
・在固有频率附近的频段，隔振台上的振动大于场地振动
・姿势稳定性差（特别是在有设备工件台等直接扰动力施加的场合，位移响应大，振动收敛时间长）
主动隔振改善了上述不足之处，既可抑制和隔离固有频率附近的振动放大，而且，可实现微米量级的位置和姿势复原控制。
被动隔振与主动隔振的传递特性如图2所示。

主动隔振作为高性能隔振系统，适合于对安装场地微振动环境要求严格的精密设备，可应用于需要精确姿势控制和高产量的设备。

图1 隔振系统模型
（1自由度模型）


图2 被动隔振与主动隔振的性能比较
（频域特性）

表1为隔振对象的精密设备和隔振系统的简介。被动隔振系统是FPD制造设备的隔振实例，主动隔振系统是电子显微镜的隔振实例。虽然两种设备的重量和尺寸不同，但安装场地的振动环境几乎等同。因此，就此对比被动隔振系统和主动隔振系统的性能效果。（两种设备都安装在中间楼层。场地的振动数据参见图3，图4）

图3，图4是垂直方向的地板面振动数据（红线）和隔振台面的振动数据（蓝线）。被动隔振实例（图3）和主动隔振实例（图4）都显示出良好的隔振性能。但是，采用被动隔振方式时，可见圆圈处4Hz以下的频带，隔振台面的振动大于地板面的振动。此处便是伴随被动隔振系统弹簧特性的振幅增幅范围。根据VC振动标准评价，对比主动隔振效果达到VC-F，可见被动隔振因为有增幅发生，隔振效果只达到VC-C为止。

隔振系统的传递特性如图5·，图6所示。图5，图6显示了表示隔振系统性能的地板到隔振台面的振动比率。0dB（分贝）表示地板面与隔振台面的振动相同（1:1），如果比值小于0 dB表示隔振有效（反之，如果比值大于0dB，表示隔振台面振动大于地板面振动）。
图5为被动隔振实例的传递特性。图中圆圈处可见2.5Hz的峰值，此为被动隔振系统的固有频率，振动在此频率附近放大。与此对比，是图6主动隔振实例的传递特性。可见无振幅增幅， 100Hz以下全频率范围内实现了隔振。