提高生产设备的吞吐量与企业的生产率密切相关。为此，会要求使用隔振装置来缩短设备的整定时间。

在以半导体制造为代表的微纳加工（包括检测和分析）过程中，设备要求其使用环境处在允许的微振动范围以...

以半导体制造为代表的精密和超精密加工・检查・分析设备等对周围的微振动环境要求越来越高。然而，设备...