大型液晶玻璃基板检测设备（长度测量机）通过光学方式观察图案的线宽，对振动非常敏感。安装前，事先进...

精密设备对安装场地有振动规范要求，半导体洁净厂房的双层楼板结构中，高架地板振动无法满足精密设备需...