超精密仪器设备的对策

光刻机・曝光设备・各种检查设备

• 主动隔振器
• 大型隔振台

地板的对策

• 高刚性架台
• 减振装置
• 隔震装置

设备机房对策

• 设备隔振装置

精密仪器设备的对策

• 桌上型主动隔振平台
• 桌上型隔振平台
• 气浮式隔振桌
• 隔振器
• 隔震装置

电子显微镜的对策

• 磁场消除系统
• 主动隔振平台αL