在以半导体产业为代表的超精密加工领域，制造、检查、测试的精度已进入了纳米和埃米量级。准确的把握住时代需求，OS气浮式隔振桌系列为微纳振动提供隔振空间。
我们拥有丰富的产品系列，可对应与半导体、液晶玻璃基板大口径化、基板大型化相关的检查设备大型化、重型化。
与制造检验生产线相匹配的简约设计，各种选项配件，可完美的构成整个系统。
EHS/DHS规格参数
隔振桌EHS
满足超精密检查/测试仪器隔振需求的高性能隔振桌
EHS-68(支架下部配有搁物板)
| 型号 | EHS-68 | EHS-78 | EHS-87 | EHS-107 |
|---|---|---|---|---|
| 隔振桌外形尺寸 (W×D×Hmm） |
600×800 ×750 |
700×800 ×750 |
800×700 ×750 |
1,000×700 ×750 |
| 产品重量 （kg） | 170 | 190 | 190 | 220 |
| 最大承载能力 (kg) | 120 | |||
| 隔振方式 | 将公司的SBM专利技术与空气弹簧相结合( PAT .P/USP ) | |||
| 固有频率 (Hz) | 垂直方向 1.6 ～ 2.2 水平方向 1.2 ～ 1.8 | |||
| 台面调平 | 机械式高度控制阀自动调平：供气气压0.4MPa | |||
| 上层台板 | 不锈钢抛光 | |||
| 选项购买 | 盖罩，抗震固定金属夹，搁物板 | |||
| 其他 | 可在洁净室内使用(配有集中排气接头、防静电接地线) 符合RoHS指令 |
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隔振桌DHS
DHS系列是EHS系列产品上装有盖罩的型号。操作时可不必担心碰到上浮部件。
DHS-68(支架下部配有搁物板)
| 型号 | DHS-68 | DHS-78 | DHS-87 | DHS-107 |
|---|---|---|---|---|
| 隔振桌外形尺寸 (W×D×Hmm） |
650×850 ×750 |
750×850 ×750 |
850×750 ×750 |
1,050×750 ×750 |
| 产品重量 （kg） | 175 | 195 | 195 | 225 |
| 最大承载能力 (kg) | 120 | |||
| 隔振方式 | 将公司的SBM专利技术与空气弹簧相结合( PAT .P/USP ) | |||
| 固有频率 (Hz) | 垂直方向 1.6 ～ 2.2 水平方向 1.2 ～ 1.8 | |||
| 台面调平 | 机械式高度控制阀自动调平：供气气压0.4MPa | |||
| 上层台板 | 不锈钢抛光 | |||
| 选项购买 | 抗震固定金属夹，搁物板 | |||
| 其他 | 可在洁净室内使用(配有集中排气接头、防静电接地线) 符合RoHS指令 |
|||
EHS/DHS特点
- 振动传递特性 固有频率低，能稳定有效的隔振，隔振带宽可达100Hz。
- 采用公司自主知识产权的SBM结构(PAT.P/USP)，确保水平方向的低固有频率。专利技术可使水平方向的固有频率基本稳定，不受装载仪器重量的影响。
- 将本公司在主动控制隔振系统独自研发的隔振技术，摆球（SBM）机构小型化，推出了新一代空气弹簧产品。采用SBM机构，可成功的抑制传统空气弹簧难以实现的旋转模态。再加上优化设计的架台，可确保至广域频率的有效隔振，使装载仪器可发挥最大的性能。
新一代空气弹簧
DAS/SRD/SVD规格参数
隔振桌DAS
光学显微镜/粗糙度仪等 也可适用于大载荷
DAS-68(支架下部配有搁物板)
| 型号 | DAS-68 | DAS-78 | DAS-87 | DAS-107 |
|---|---|---|---|---|
| 隔振桌外形尺寸 (W×D×Hmm） |
650×850 ×750 |
750×850 ×750 |
850×750 ×750 |
1,050×750 ×750 |
| 产品重量 （kg） | 180 | 200 | 200 | 230 |
| 最大承载能力 (kg) | 200 | |||
| 隔振方式 | 空气弹簧 | |||
| 固有频率(Hz) | 垂直方向及水平方向 2.0 ～ 3.0 | |||
| 台面调平 | 机械式高度控制阀自动调平：供气气压0.4MPa | |||
| 上浮面板 | 不锈钢抛光 | |||
| 选项购买 | 抗震固定金属夹，搁物板 | |||
| 其他 | 可在洁净室内使用(配有集中排气接头、防静电接地线) 符合RoHS指令 |
|||
隔振桌SRD/SVD
显微镜/粗糙度仪等 简单放置
SVDA(翼板、边桌)
(ED)、显示屏搁架、鼠标
/键盘台
| 型号 | SRDA | SVDA | SRDC | SVDC | SRDR |
|---|---|---|---|---|---|
| 隔振桌外形尺寸 (W×D×Hmm） |
590×720 ×715 |
770×720 ×715 |
590×720 ×715 |
770×720 ×715 |
590×720 ×715 |
| 产品重量 （kg） | 70 | 105 | 70 | 105 | 70 |
| 最大承载能力 (kg) | 120 | 200 | 120 | 200 | 45 |
| 隔振方式 | 空气弹簧 | 特种橡胶弹簧垫 | |||
| 固有频率 (Hz) | 垂直方向及水平方向 2.0 ～ 3.0 | 垂直方向及水平方向 8.0 ～ 12.0 | |||
| 台面调平 | 机械式高度控制阀自动调平：供气气压0.4MPa | 手泵充气 手动调节 | 特种橡胶弹簧垫 | ||
| 上浮面板 | 涂塑 | ||||
| 选项购买 | SVDA(翼板、边桌(ED)、显示屏搁架、鼠标/键盘台) | ||||
使用注意：如果仪器的重心位置高度超过台面宽度尺寸的1/2，请与我们联系。
