主动磁场消除系统AMC-331
当环境磁场发生变化时，电子显微镜等使用电子束的设备会受到磁场的干扰影响。AMC-331系统使用高灵敏度磁场传感器检测空间磁场变化量，主动控制亥姆霍兹线圈创建逆相位补偿磁场，抵消环境磁场的变化。
基本原理
扰动磁场的原因
- 由铁磁物体的移动（汽车，电梯，列车等）引起，电源噪声（50/ 60 Hz）
- 周围设备的影响
亥姆霍兹线圈
- 彼此平行，同样圈数的串联线圈
- 电流通过，线圈在轴线方向上产生磁场
磁通密度分布图
亥姆霍兹线圈产生的平行磁场
x轴方向的磁通密度是根据毕奥・萨伐尔定律求得下述公式。
理论计算3 分析结果1
理论计算4 分析结果4
特点
- 高性能：优秀的衰减性能，高达40~60dB（＝降低1/100~ 1/1000）
- 低成本：与磁屏蔽室比价，成本大幅下降
- 施工简单：只需在仪器外围固定安置线圈对
控制方式：直流磁场特征值控制+交流磁场各轴独立反馈控制
动态工作范围：±15μT（可调整设定）
可控频率范围：准直流～1kHz
衰减率：40～60dB（消磁倍率：1/100~1/1000）
应用
- 扫描电子显微镜(SEM)
- 透射电子显微镜（TEM）
- 聚焦离子束(FIB)
- 质谱仪（MS）
- 电子束曝光系统（EBL）
- 掩模检测设备
- 临界尺寸量测扫描电镜（CD-SEM）
