与厂房的建筑结构相比，洁净室（双层楼板结构）高架地板上的振动较大，会出现超出精密设备安装场地的振动允许值的状况。这是因为高架地板构造强度和稳定性不足，还有来自各种动态振源的因素。工作人员的走动，货物搬运，机器运转，动力设备等都属于振源。本隔振方案是通过在建筑楼板和大梁上架设隔振基座，隔绝高架地板的振动，控制和降低直接的振动传递影响。（参见图1）

此外，除了隔绝来自地面的振动，分步重复光刻机等光刻设备在加工时会产生内部振动，为承受动态负荷和振动，设备对安装场地有刚度的需求。高刚性隔振基座也适合于这种需求。

当建筑楼板，梁的振动超过振动允许范围时，可采取高刚性隔振基座与隔振系统结合的方案解决振动问题。

虽然根据隔振基座的结构（紧固螺栓，焊接，形状，高度），固定条件和设备重量等不同会有所变化，但通常是水平方向的固有频率低于垂直方向的固有频率，固有频率附近的楼板振动会被放大。
因此，需事先测试场地振动，对安装隔振基座后的振动是否满足振动允许值进行计算和预估。在垂直方向，只要结构构造不是非常薄弱,增幅幅度相对偏小。

＜概要＞
安装场地：厂房1楼洁净室
产品尺寸： 宽1360×深970×高490mm
设备：半导体检测装置（测试时还未安装）

＜测点分布图＞

＜振动诺模图＞
【图3】【图4】是常时微动测试结果，是基座周围行人走动时的振动诺模图（左: 水平方向，右:垂直方向）
高架地板的常时微动（黑线）超过振动允许值（蓝线），周围行人走动时振动加大，大幅超标。高刚性隔振基座的振动（深蓝线）则低于振动允许值，有行人走动时也处在振动允许值范围内。

水平方向的诺模图中，绿色虚线圈内的隔振基座振动（深蓝线）比楼板振动（红线）大，这是由隔振基座固有频率所造成。因此可见，在规划设置高刚性隔振基座时，事先根据楼板振动数据，用有限元法（FEM）等对隔振基座的振动特性进行分析，判断性能效果是否达标极为重要。


＜传递特性＞
【图5】是楼板到高刚性隔振基座的传递特性（左: 水平方向，右:垂直方向）。
基座的水平方向固有频率在80Hz附近，可见此处振动相比楼板振动约增幅20dB（10倍）
特征值（固有频率）取决于基座的刚度（包括安装条件等），放大倍数基本取决于钢材特性，通常可放大20～30dB(约10～30倍)。