用于高速工件台的升级版主动隔振系统
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- 精密设备内部高速工件台的振动控制措施
- 提高生产设备的吞吐量与企业的生产率密切相关。为此，会要求使用隔振装置来缩短设备的整定时间。
虽然主动隔振装置可控制工件台驱动时产生的振动干扰，但近年来随着工件台的移动高速化，要求规格变得更加苛刻。
本次采取的是缩短高速工件台（加速度等级为2G）整定时间的振动控制措施。
提升主动隔振装置的制振性能
升级版主动隔振系统成功且有效的提供了能迅速抑制高速工件台振动的制振效果，并能充分发挥对环境振动的隔振性能。
系统采用了强化型执行器。
对比具有工件台前馈控制的主动隔振系统，测试结果显示，垂直方向的最大响应位移下降76.2%，水平方向的最大响应位移下降28.6%。
收束时间的评估测试结果表明，在工件台停止130微秒后，垂直方向的响应位移下降76.9%，水平方向的响应位移下降75%。
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图1：工件台移动时的最大响应位移
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图2：收束时间评估的响应位移
缩短整定时间
实验证实，升级版主动隔振系统可缩短整定时间。
对比传统的主动隔振系统，达到振动控制目标值的整定时间可缩短98.7%
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图3：工件台停止后的整定时间
