案例检索结果 标签:固有频率内容均包括 1-2 / 2物 精密设备998用于高速工件台的升级版主动隔振系统提高生产设备的吞吐量与企业的生产率密切相关。为此,会要求使用隔振装置来缩短设备的整定时间。精密设备0165精密设备的被动及主动振动控制对策在以半导体制造为代表的微纳加工(包括检测和分析)过程中,设备要求其使用环境处在允许的微振动范围以...