案例检索结果 标签：主动隔振内容均包括 1-3 / 4物 精密设备998用于高速工件台的升级版主动隔振系统提高生产设备的吞吐量与企业的生产率密切相关。为此，会要求使用隔振装置来缩短设备的整定时间。精密设备0165精密设备的被动及主动振动控制对策在以半导体制造为代表的微纳加工（包括检测和分析）过程中，设备要求其使用环境处在允许的微振动范围以...精密设备0211消除移动工件台对精密设备产生振动干扰的主动隔振系统以半导体制造为代表的精密和超精密加工・检查・分析设备等对周围的微振动环境要求越来越高。然而，设备... 12次へ
