液晶基板检测设备的主动隔振案例

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工程概况: 大型液晶玻璃基板检测设备（长度测量机）通过光学方式观察图案的线宽，对振动非常敏感。安装前，事先进行了场地的振动测试调查，发现振动超出设备的允许值。为消除微振动对设备的影响，决定采用主动隔振装置进行微振动控制。

检测设备安装场地的地面振动环境

液晶面板的制造过程在洁净车间中完成，大多会遇到振动问题。本案例的设备安装场地，不仅是通道地板，支撑的建筑结构也没能满足设备对场地的振动要求。楼层的固有频率在5Hz附近，垂直方向振动超过允许值，而且，由于洁净车间位于上方楼层，水平方向建筑物本身的水平固有频率在1.5赫兹附近，水平方向振动也超过允许值。这种情况下，如有风振，周围的交通振动，建筑物内的各种振源，安装场地的振动会进一步放大，需要采取相应的措施。此外，液晶玻璃基板检测设备内部有大型移动工件台，导致重心位置不断的变动。如果使用弹性体支撑设备，整个设备会发生倾斜，影响到成品率。解决方案充分考虑到各种因素，包含了相应的对策。
事先的场地振动测试数据诺模图如图1~３所示。

图1：安装场地的X方向振动
图2：安装场地的Y方向振动

图3：安装场地的Z方向振动

对隔振装置的性能要求

隔振：从图1～3可见，需要隔振的频段在1～6赫兹的低频范围，处于被动隔振系统的放大范围。因此，本方案采用无增幅放大的主动隔振系统。
制振：设备自身具有大质量的工件台在X和Y方向移动，生产量要求在工件台停止后能够快速抑制振动，加快收敛。
主动隔振装置不仅能隔振，还可通过主动控制实现制振，迅速抑制振动。工件台移动时的隔振台面振动位移响应如图4~5所示。图中可见，重心偏移及惯性力造成的位移迅速收敛。