无需供气的小型主动隔振装置。具有从低到高全频段卓越的隔振性能。
特点
- 对垂直，水平 及各个旋转方向实施6自由度主动控制。
- 从空载到定额负载100kg，不受载荷重量和重心位置变化的影响，发挥稳定的隔振性能。
- 启动后可自主侦测载荷设备的重心位置，自动调平机构可主动调节至最佳的控制平衡。
- 无产生粉尘的部件，洁净室兼容。
- 采用视角宽且易于观看的显示面板VFD（荧光显示屏）。并备有光源的开关功能可供在暗室内使用。
用途
- AFM（原子力显微镜），SPM（扫描探针显微镜）。
- 激光显微镜，激光干涉仪。
- 微小硬度计。
- 其他各种精密测量仪器。
振动传递特性
在无载荷、高重心状态时都具有卓越的隔振效果。
规格
| 型号 | δTA-56 |
|---|---|
| 控制方式 | 6自由度反馈控制 |
| 隔振平台外形尺寸 ( W × D × Hmm ) | 500 × 600 × 92 |
| 台板尺寸（ W × Dmm） | 500 × 600 |
| 产品重量 ( kg ) | 31 |
| 可承载载荷重量 ( kg ) | 100 |
| 电源 | 单相AC100 - 200V ( 50/60Hz ) |
