案例检索结果 标签：工件台内容均包括 1-2 / 2物 精密设备0211消除移动工件台对精密设备产生振动干扰的主动隔振系统以半导体制造为代表的精密和超精密加工・检查・分析设备等对周围的微振动环境要求越来越高。然而，设备...精密设备J7液晶基板检测设备的主动隔振案例大型液晶玻璃基板检测设备（长度测量机）通过光学方式观察图案的线宽，对振动非常敏感。安装前，事先进...
