振敏设备的微振动主动控制工作原理，是把设备安装在隔振台（隔振系统）上，通过传感器测得振动加速度和位移信号传递给控制器，进行振动控制。
有些设备虽然配备了隔振装置，但设备内部的可动部引起的振动干扰，依然会影响到提升生产效率。对既要求隔离周围环境振动，又要求快速抑制内部振动干扰的需求，可在主动隔振系统中追加对移动工件台的前馈振动控制。采用「在工件台上设置加速度传感器采集数据」或「接受工件台的驱动指令」的方式进行前馈控制，可加速抑制设备内部的振动干扰，兼顾制振性能和隔振性能，达到良好的控制效果。

图1 实施工件台振动前馈控制的主动隔振系统示意图

工件台前馈控制前后的测试结果如图2所示。隔振台的振动加速度和位移如表1所示。
数据表明，采用工件台前馈振动控制后，工件台移动时，位移和加速度都得到了良好的改善，制振性能得到提高。

图2 工件台驱动信号及工件台前馈控制效果对比



表1 工件台前馈振动控制前、后结果对比

振动测试结果如图3所示。红线为地面振动，蓝线为隔振台上振动。
测试结果表明，主动控制系统可大幅降低环境传来的微振动，在1-10Hz的低频带，各方向都约减低20dB（减小到1/10），隔振台的振动控制水平优于VC-G。

图３ 振动实测诺模图 　（数据处理方式: 峰值保持）