提高生产设备的吞吐量与企业的生产率密切相关。为此，会要求使用隔振装置来缩短设备的整定时间。

半导体生产线上使用的SEM应用设备的观察图像中混入噪声，影响检测精度。
在设备内部安装...

在以半导体制造为代表的微纳加工（包括检测和分析）过程中，设备要求其使用环境处在允许的微振动范围以...

以半导体制造为代表的精密和超精密加工・检查・分析设备等对周围的微振动环境要求越来越高。然而，设备...

大型液晶玻璃基板检测设备（长度测量机）通过光学方式观察图案的线宽，对振动非常敏感。安装前，事先进...

精密设备对安装场地有振动规范要求，半导体洁净厂房的双层楼板结构中，高架地板振动无法满足精密设备需...