扫描电子显微镜（SEM）用聚焦电子束照射样品，并通过检测发射的二次电子来观察图像。主要是将样品置于高真空环境中，用电子束扫描样件，在每个坐标上构建并显示影像。由于使用的是电子束，高分辨率的电子束设备易受磁场干扰的影响。
本案例中，受设备内外产生的交流磁场的影响，扫描图象中混入平稳噪声，影响图像质量，导致测试精度下降。
设备和主动磁场消除系统的线圈安装示意图如图1所示。

在设备内部安装主动磁场消磁系统的线圈（参见图1），实施交流磁场干扰防护措施。对策前后的SEM观察图像对比如图2所示，测试结果见表1，频谱测试数据如图3所示。
本案例中，设备内部的供电系统及周围安装的设备机器等产生的干扰磁场，造成了检测图像中混入了条纹噪声。
从表1可见，场地周围的磁场环境符合规范允许值。设备使用时，图像中有噪声混入，可推断设备的实际磁场灵敏度高于初始值（比允许值要求更高）。
采用主动磁场消除系统后，磁场强度降低到了1%以下，测试图像精度明显提高（见图2）。

图2 主动磁场消除系统使用前后的观察图像对比



表1 主动磁场消除系统的性能效果（频谱最大值参见图3）



图3 主动磁场消除系统使用前后的频谱比较