纳米技术的振动对策
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气浮式主动隔振器
α系列拥有专利技术、兼顾隔振、制振及促使迅速复位・维持稳定姿态、性能效果极佳。面向大载荷设备,系统可以配备6或8个隔振器。
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电子显微镜用主动隔振平台
αL4X-911R1最适合电子显微镜的基座式隔振平台。
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桌上型主动隔振平台δTA
无需供气的小型主动隔振装置。具有从低到高全频段卓越的隔振性能。
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隔振桌
DHS / DAS我们拥有丰富的产品系列,可对应与半导体、液晶玻璃基板大口径化、基板大型化相关的检查设备大型化、重型化。
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桌上型隔振平台
TAP / TAPC尽可能的薄型设计,使操作人员感觉不到仪器工作高度的变化。采用紧凑而简单的结构,可根据用户要求的尺寸、载荷重量,轻易的更改设计,进行定制。
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大型隔振台
根据电子显微镜、光刻机等载荷设备和安装环境的不同进行优化设计。
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隔振器 UAO 系列
与本公司的主动隔振器尺寸相同,可与主动隔振器互换。
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高刚性架台
高刚性架台可将精密仪器设备的安装场地与周边隔开。根据安装场地和载荷设备进行定制设计、施工以及验证测试。
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主动磁场消除系统 AMC-331
当环境磁场发生变化时,电子显微镜等使用电子束的设备会受到磁场的干扰影响。AMC-331系统使用高灵敏度磁场传感器检测空间磁场变化量,主动控制亥姆霍兹线圈创建逆相位补偿磁场,抵消环境磁场的变化。