以半导体制造为代表的精密和超精密加工・检查・分析设备等对周围的微振动环境要求越来越高。然而，设备...

精密设备对安装场地有振动规范要求，半导体洁净厂房的双层楼板结构中，高架地板振动无法满足精密设备需...