
应用于扫描电子显微镜 (SEM/FIB) 主动式隔振平台
αL4X-911R2

从 0.5Hz 的低频范围开始显示卓越的隔振性能

特点
配备自检功能,可自动调整
可在正面液晶显示屏上查看实时振动状态
规格

外形尺寸 ( W × D × Hmm ) | 902 × 1102 × 152 ( 落座时 ) |
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产品重量 ( kg ) | 320 |
隔振元件 | 隔膜式空气弹簧 |
允许载重量 | 1000 ( 均布荷载 ) |
控制系统 | 6自由度反馈 + 前馈控制的双重主动控制 |