应用于扫描电子显微镜 (SEM/FIB) 主动式隔振平台αL4X-911R2 从 0.5Hz 的低频范围开始显示卓越的隔振性能 特点 配备自检功能,可自动调整 规格 外形尺寸 ( W × D × Hmm ) 902 × 1102 × 152 ( 落座时 ) 产品重量 ( kg ) 320 隔振元件 隔膜式空气弹簧 允许载重量 1000 ( 均布荷载 ) 控制系统 6自由度反馈 + 前馈控制的双重主动控制