特許機器株式会社 特許機器株式会社

隔振装置
应用于扫描电子显微镜 (SEM/FIB) 主动式隔振平台
αL4X-911R2

从 0.5Hz 的低频范围开始显示卓越的隔振性能

特点

配备自检功能,可自动调整
可在正面液晶显示屏上查看实时振动状态

规格

外形尺寸 ( W × D × Hmm ) 902 × 1102 × 152 ( 落座时 )
产品重量 ( kg ) 320
隔振元件 隔膜式空气弹簧
允许载重量 1000 ( 均布荷载 )
控制系统 6自由度反馈 + 前馈控制的双重主动控制

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